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CF真空軟管用于超高真空狀態(tài),法蘭可單側(cè)旋轉(zhuǎn),用銅墊片來密封,螺栓連接,通過真空熱處理來除去軟管和法蘭焊接部分的熱應(yīng)力,氦泄漏量LeakLate:5*10-9Pa?m3/s以下。產(chǎn)品特點(diǎn)1.真空軟管彎曲擾性去彌補(bǔ)管路系統(tǒng)因安裝造成的